去年5月曝光的三星電子旗下半導體設備公司——SEMES公司前員工等7人因涉嫌將SEMES開發的半導體清洗設備技術出售給中國企業而被起訴的案件又有了新進展。

(資料圖片僅供參考)

1月17日消息，據韓國媒體報道，韓國水原地方檢察廳16日宣布，已起訴包括三星電子旗下半導體設備公司——SEMES公司前研究人員，以及此次技術泄漏事件經紀人在內的五人，他涉嫌將SEMES開發的半導體清洗設備技術出售給中國企業，違反了韓國《產業技術保護法》和《防止不正當競爭法》。在這五人中，有四人被捕，一人由于是被煽動而沒有被拘留。

△2020年6月，三星電子董事長李在镕視察SEMES天安工廠的生產線

報道稱，此次被正式起訴的五人包括一名前SEMES員工，他于2016年退出公司，并于2019年創辦了自己的公司。他涉嫌于2021年6月將通過將SEMES合作伙伴公司的首席執行官獲得的“超臨界半導體清洗設備”的關鍵圖紙交給技術泄漏經紀人。隨后該經紀人將圖紙泄露給了中國廠商。

調查人員發現，這位前SEMES員工和其他人在2019年12月至2022年7月期間通過出口20臺清潔設備與相關技術一同出售給了中國企業及研究機構，從中獲取了1193億韓元（約合人民幣6.5億元）的報酬。

去年曝光的消息顯示，這位前SEMES員工及相關人員在盜取SEMES公司技術后，制成14臺相同配置的半導體清洗設備，與相關技術一同出售給了中國企業及研究機構，從中獲取了710億韓元，約合人民幣3.7億元的報酬。

據SEMES官網介紹，其SUPER CRYSTAL系列清洗機是世界第一臺超臨界設備，采用無傾斜技術（高萃取/高溶解度），具備高通量和穩定性，能夠去除19nm的顆粒。

△Semes的晶圓清洗機

報道稱，“從2009年到2021年，SEMES在超臨界技術的研發上投入了約350億韓元，”一位檢方官員說。“這一泄密造成了超過350億韓元的直接損失。人們擔心，如果SEMES的訂單由于公司技術實力下降而僅下降10%，那么SEMES每年將遭受超過400億韓元（約合人民幣2.2億元）的損失。

對于具體是哪家中國企業涉及其中，相關報道及檢方披露的資料并未顯示。由此，也引發了國內投資者的關注和猜測。去年6月1日，盛美上海在投資者互動平臺就回應投資者提問時稱：“盛美上海及控股子公司與該事件完全無關。”

此外，這位前SEMES員工還被指控與另一名前SEMES 研究員合謀，將SEMES 于 2021年在全球第二次開發的單晶圓磷酸鹽清潔設備的信息泄露給自己離職后創立的公司的員工，后者也被逮捕和起訴。單晶圓磷酸鹽清洗設備用磷酸溶液逐一清洗半導體。它用于去除殘留在晶圓表面上的二氧化硅。

報道稱，世界上只有兩家公司成功開發了這種設備——韓國的SEMES和日本的Shibaura（芝浦）。

去年5月，這名前SEMES員工因向中國泄露SEMES濕式半導體清洗設備的信息而被捕并被起訴一次。去年11月，由于逮捕期屆滿，他被取保候審，沒有拘留，但隨著檢方發現額外的技術泄露案（單晶圓磷酸鹽清潔設備技術竊密），他再次被監禁。

資料顯示，SEMES由三星電子于1993年成立，是生產半導體和顯示器制造設備的重要子公司。

目前，Semes的產品主要包括半導體前道工序領域的清洗（LOTUS、BLUEICE PRIME）、Phototrack（OMEGA-S、OMEGA-K）、蝕刻（Michelan O3、Michelan C4）設備，還有后道工序的Bonder、Probe、Test Handler等設備。

根據官網公布的數據顯示，SEMES在2021年全年的收入為3.12萬億韓元（約人民幣162億元），營業利潤為3533億韓元。與2020年相比，收入和營業利潤也分別增長了41%和24%。其中，晶圓廠設備占Semes的2021年收入的75%，而平板顯示設備占比1.7%。2020年，晶圓廠設備占其年收入的61.24%，而平板顯示設備占比9.9%。該公司的目標是到2030年營收達到5萬億韓元（約合人民幣273.1億元）。

根據Gartner的數據顯示，在2019年的全球半導體清洗設備市場，日本迪恩士（DNS）、日本東京電子（TEL）、韓國SEMES和美國泛林集團（Lam research）分別占據了45.10%、25.30%、14.80%和12.50%的市場。

編輯：芯智訊-浪客劍

關鍵詞： 清洗設備 約合人民幣 三星電子